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　　應(yīng)力檢測儀的測量方法：

　　1.標(biāo)準(zhǔn)測量

　　標(biāo)準(zhǔn)測量方法采集樣品3個(gè)方向的應(yīng)力值（0°60°120°）建言直達，zui終得出應(yīng)力大小技術節能，標(biāo)準(zhǔn)測量方法的測量精度zui高指導，測量范圍在0~74nm，是日常的檢測的常用方法國際要求。

　　特點(diǎn)：測量時(shí)間較短增持能力，單次測量一般小于30s，結(jié)果中會(huì)同時(shí)給出樣品應(yīng)力的大小及方向行業內卷。

　　2.單方向測量

　　在測量時(shí)追求卓越，應(yīng)力檢測儀只采集單一方向應(yīng)力值逐漸完善，即偏振方向是固定的，默認(rèn)值0°（即為圖像中45°傾斜方向）發展契機，并且可以自定義偏振角方向廣泛關註，zui后得出在該方向上的應(yīng)力分布。

　　特點(diǎn)：使用單方向測量方法得出測量結(jié)果中可以觀察到光延遲的正/負(fù)值發力，或者可以理解為應(yīng)力是來自樣品自身的張力還是外界造成的壓力優勢領先。

　　3.多方向測量

　　在多方向測量中，應(yīng)力檢測儀采集的是六個(gè)方向的應(yīng)力值（0°,15°,30°,…75°）共創美好，通過計(jì)算得出zui后的應(yīng)力大小推動並實現。多方向測量方法的測量范圍要大于標(biāo)準(zhǔn)測量方法，在標(biāo)準(zhǔn)測量方法中覆蓋範圍，當(dāng)光延遲大于74nm時(shí)優化程度，測試結(jié)果的圖像中會(huì)觀察到白線圈出的紅色區(qū)域出現(xiàn)，這時(shí)需要使用多方向測量方法進(jìn)行測量奮勇向前，測量范圍0~295nm不斷豐富。

　　注意：在多方向測量結(jié)果中，并不能地給出測試樣品的應(yīng)力方向組建，并且會(huì)降低測量精度各有優勢，增加測量時(shí)間。